오 토 포 커 스 솔 루 션
2019 한국머신비전산업협회 KMVIA Award 우수기술 선정
자동으로 초점을 유지해주는 오토포커스 솔루션
오토포커스는 정밀한 검사 어플리케이션에서 초점을 자동으로 유지해주는 광학 모듈 솔 레이 폴딩 방식의 특장점 솔루션입니다. 수 미크론 이하의 작은 불량을 검출해야하는 OLED 패널 등의 초정밀 검사 공정에서는 고배율의 광학계를 사용하므로 심도(DOF)가 매우 얕습니다.
이런 환경에서는 미세한 기구적 움직임으로도 초점이 틀어질 수 있어서 실시간으로 초점을 유지해 주어야 지속적인 영상 취득이 가능합니다. 이오비스는 다양한 어플리케이션 요구에 대응하기 위해 반사 타입과 레이 폴딩 두 가지 방식의 기술을 적용한 오토포커스 솔루션을 개별 고객사 요구 사양에 맞춰 특주 설계 및 제작하고 있습니다.
주요 특장점
핀홀 불량 검사 성능 테스트
※ Peak gray value @Background 200GL, Threshold 15
Defect | 0.9μm | 0.8μm | 0.7μm | 0.6μm |
---|---|---|---|---|
Pin-Hole | ![]() 27 PEAK |
![]() 22 PEAK |
![]() 17 PEAK |
![]() 12 PEAK |
문덕값 15설정시, 핀홀결함 0.7um이상 검출 가능할 것이라 판단됨
오토포커스 기능 ON/OFF 영상 비교
어플리케이션
반사 방식의 원리 및 특징
광삼각법 방식을 이용하여 Line Laser가 시료면에서 정반사 되면, A/F Camera로 Laser광이 입사되어 반사각도에 따른 Laser의 변위량 차이가 발생하게 되는데, 이때, 이 변화량의 픽셀차이를 계산하여 모터쪽에 신호를 주어 최적 초점 위치를 추적하는 방식.
반사 방식 모델별 사양 | |||||
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렌즈 모델 (배율) |
XN-Diamond 2.6X | XN-Diamond 3.5X | Kelly-Diamond 3.33X | XN-Diamond 5.0X | Kelly-Diamond 5.0X |
렌즈 NA (object surface) |
0.125 | 0.169 | 0.175 | 0.261 | 0.298 |
심도 (DOF) |
line-scan : 31μm area-scan : 62μm |
line-scan : 16μm area-scan : 32μm |
line-scan : 17μm area-scan : 34μm |
line-scan : 8μm area-scan : 16μm |
line-scan : 7μm area-scan : 14μm |
초점 반복능 (Focus Repeatability) |
± 1.5μm | ||||
초점 정확도 (Focus Accuracy) |
± 3.0μm | ||||
자동초점 해상도 (AF Resolution) |
4.8μm | ||||
자동초점 높이 범위 (AF Focus Range) |
± 1000μm | ||||
자동초점 업데이트 주기 (AF Update Rate) |
MAX. 100Hz | ||||
자동초점 속도 (AF Speed) |
0.2초 미만(Z축 이동거리 10μm) 0.6초 미만(Z축 이동거리 600μm) |